Fijne lijnen trekken met Duitse lenzen

ASML publiceert vandaag zijn kwartaalcijfers. Hoe goed de chipmachinemaker presteert, hangt af van zijn voornaamste toeleverancier. De band met Carl Zeiss SMT is niet zonder risico’s....

Wie zei dat Duitsers geen gevoel voor humor hebben? Op de vraag wat de lenzen kosten die Carl Zeiss SMT produceert, gebaart vice-president Andreas Dorsel naar een tafel in de splinternieuwe fabriek van zijn bedrijf in Oberkochen. ‘Dát’, zegt hij terwijl zijn vinger een half-gepolijste lens aanwijst, ‘is een BMW. En dit’, de vinger verspringt naar een hoopje glasscherven, ‘een kapotte BMW.’

Duur – dat zijn de lenzen die van de band rollen in Oberkochen, een slaperig stadje met 8600 inwoners in het zuiden van Duitsland. Kostbaar is ook de fabriek die Carl Zeiss er uit de grond stampt. Als volgend jaar de laatste muur van het complex aan de Rudolf Eberstraat een lik verf krijgt, heeft het Duitse bedrijf er meer dan 280 miljoen euro in gestoken. En dat alles voor één klant: de Veldhovense chipmachinemaker ASML.

SMT (kort voor Semiconductor Technology Group) is een volle dochter van Carl Zeiss, bij het grote publiek beter bekend van zijn foto-objectieven en microscopen. De lenzen die SMT fabriceert, vormen het belangrijkste onderdeel van de wafer steppers die ASML fabriceert. Deze machines bewerken de plakken silicium, waarmee fabrikanten als Intel, Samsung en AMD computer- en geheugenchips maken. De wieg van menige pc, mobiele telefoon en digitale camera komt uit Veldhoven.

De Duitse lenzen stellen de steppers in staat microscopische schakelingen – transistoren – met licht te ‘branden’ in de siliciumschijven. Op een oppervlak ter grootte van een postzegel tekenen de chipmachines met ongekende precisie miljoenen verbindingen. ASML is met een marktaandeel van 50 procent de ‘hofleverancier’ van de halfgeleider-industrie.

De relatie tussen Carl Zeiss SMT en ASML lijkt voor buitenstaanders een ongemakkelijke. De twee bedrijven zijn onlosmakelijk met elkaar verbonden, als een niet te scheiden Siamese tweeling. Er is niemand anders bij wie ASML kan aankloppen voor lenzen, zoals er geen andere partij belangstelling heeft voor de producten van Carl Zeiss SMT. De belangrijkste concurrenten van ASML, Nikon en Canon maken hun eigen lenzen. ‘We zien het meer als een goed partnerschap’, zegt Peter Jenkins, verantwoordelijk voor de marketingstrategie van ASML, over de hechte band met de Duitsers.

Dat partnerschap kan niet verhullen dat de Veldhovenaren in hun jaarverslag over 2004 constateren dat ze minder chipmachines konden afzetten, omdat de aanvoer van lenzen uit Oberkochen stokte. ASML leverde 282 systemen aan zijn klanten, met een gemiddelde prijs van 7,7 miljoen euro. De markt trekt wel aan: in 2003 werden 169 apparaten verscheept.

Met de bouw van de nieuwe fabriek neemt Carl Zeiss SMT nog een ander groot risico. ASML kan met de huidige technologie tot ergens in 2008 voldoen aan de vraag van de halfgeleider-industrie om steeds meer transistoren op een chip te persen. Volgens de 40 jaar oude ‘wet’ van Moore – de pionier van Intel – verdubbelt het aantal schakelingen elke twee jaar.

ASML introduceert deze week een nieuwe technologie, die de grenzen nog iets oprekt. Daarbij maakt het bedrijf gebruik van een eeuw oud natuurkundig principe, waarbij lichtstralen sterker worden gefocust door voor de lens een laagje water aan te brengen. ASML heeft deze immersietechniek nu zo onder de knie, dat de fabrikant volgend jaar commerciële systemen kan gaan leveren. ‘Daarmee liggen we twee jaar voor op de concurrentie’, aldus een zegsman. De horizon voor Oberkochen verschuift daarmee naar 2009.

Andreas Dorsel verwacht dit jaar in elk geval zonder mankeren aan de vraag uit Veldhoven te kunnen voldoen. Carl Zeiss SMT heeft drie maanden tot een jaar nodig om de optische installaties te leveren voor de steppers, afhankelijk van hoe geavanceerd de machines zijn die ASML-klanten bestellen. De componenten maken tussen de 20 en 50 procent van de kostprijs van een chipmachine uit.

Een rondgang door de fabriek laat zien hoe Dorsel aan zijn BMW-vergelijking komt. Miljoenen lijntjes branden die tweeduizend keer dunner zijn dan een menselijk haar, vereist een akelige precisie. De lenzen mogen geen afwijkingen vertonen. Het proces van slijpen, polijsten en coaten van de lenzen wordt constant met computers bewaakt. ‘Deze moet dus opnieuw’, oordeelt Dorsel over een lens die op een testbank vreemde kleuren vertoont.

Elk hikje is fataal in de fabricage van lenzen. Een stroomstoring zou helemaal desastreus zijn. Het complex in Oberkochen is dan ook verbonden met twee separate elektriciteitsnetwerken. In een apart gebouw ronken turbines, die bij een onderbreking enkele milliseconden energie leveren. Genoeg om snel over te kunnen schakelen naar het andere stroomnetwerk.

De komst naar Oberkochen van een grote werkgever – Carl Zeiss biedt 1300 huishoudens brood op de plank (en vijfduizend uit de regio) – heeft weinig met de strategische ligging te maken. ‘Het is de schuld van de Amerikanen’, grapt een manager van de lenzenmaker. Toen in 1945 het Russische leger een steeds groter deel van Duitsland van de nazi’s bevrijdde, waren de Verenigde Staten bang dat kostbare kennis in handen van de communisten zou vallen. Amerikaanse troepen kregen de opdracht om werknemers van toen nog Zeiss Jena te evacueren.

De exodus van zestig werknemers en hun gezinnen strandde toen de Amerikanen hun belangstelling verloren. De zestig namen hun intrek in een fabriek die ongeschonden was gebleven bij de geallieerde bombardementen van de Duitse oorlogsindustrie. Dat mag een wonder heten. In Oberkochen werden de onderstellen gemaakt voor de gevreesde Duitse Messerschmitt-gevechtsvliegtuigen.

Meer over